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通过研究某半导体制造工厂应用AMC控制程序的案例，探讨关于AMC控制的具体内容，了解AMC并掌握如何制定正确的AMC评估战略、描述与建立AMC控制原则和规范、理解AMC控制系统的设计理念。
空气传播分子污染物、源头及监控系统的研究
【摘 要】
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通过研究某半导体制造工厂应用AMC控制程序的案例，探讨关于AMC控制的具体内容，了解AMC并掌握如何制定正确的AMC评估战略、描述与建立AMC控制原则和规范、理解AMC控制系统的设计
【机 构】
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上海申和热磁电子有限公司硅材料事业二部
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2009年1期
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