在VIA黄光成孔阶段降低芯片的转速以便加大工艺的可容性

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文章是在讨论逻辑制程中,由于芯片设计问题产生的天线效应,通过减小芯片在显影后冲洗时的芯片的转速来消灭天线效应,增大工艺可容性的过程。 The article discusses the process of logic process, the antenna effect due to chip design issues, by reducing the chips in the developing after flushing the chip speed to eliminate the antenna effect, increase process adaptability of the process.
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