【摘 要】
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设计了一种应用于激光雷达的二维静电驱动谐振式微机电系统(MEMS)扫描微镜。基于MEMS技术对微镜加工工艺进行设计,简化了电隔离槽制备工艺,利用在绝缘体上硅(SOI)晶圆顶层硅
【机 构】
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中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室,西安交通大学电子科学与工程学院
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目(2016YFB0401903,2018YFF01010901)
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设计了一种应用于激光雷达的二维静电驱动谐振式微机电系统(MEMS)扫描微镜。基于MEMS技术对微镜加工工艺进行设计,简化了电隔离槽制备工艺,利用在绝缘体上硅(SOI)晶圆顶层硅刻蚀微镜结构的同时刻蚀电隔离槽,无需填充绝缘材料,实现动静梳齿的电绝缘;利用SOI晶圆底层硅的背面刻蚀结构,实现机械结构的连接,保证二维微镜结构的完整性。制备出镜面直径为4 mm二维谐振扫描微镜,并运用有限元法模拟微镜谐振频率,其仿真结果与实际测得的结果基本一致。在40,50 V的方波电压驱动下,快轴和慢轴的测量谐振频率分别为161
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