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声表面波延迟线振荡器的频率对沉积在延迟线表面上的薄膜很敏感，在延迟线路径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜，这层薄膜吸附对其敏感的气体物质后，其质量密度、弹性参数、介电常数、电导率都将发生变化。给出了传感器的理论分析，根据检测需要，设计最优化的气体传感器。
基于声表面波技术探测微量气体的理论分析
【摘 要】
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声表面波延迟线振荡器的频率对沉积在延迟线表面上的薄膜很敏感，在延迟线路径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜，这层薄膜吸附对其敏感的气体物质后，其质量密度、弹性参数、介电常
【机 构】
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南开大学现代光学研究所,天津工业大学理学院,安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年8期
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