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在微压传感器的研制中进行了计算机辅助设计．利用有限元方法建立硅膜的刚度矩阵，从而求解位移方程．得到了方形弹性膜上的应力分布，为力敏电阻设计了最佳位置，并预计了输出信号的大小和灵敏度，实现了优化设计。
压力传感器的计算机辅助设计
【摘 要】
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在微压传感器的研制中进行了计算机辅助设计．利用有限元方法建立硅膜的刚度矩阵，从而求解位移方程．得到了方形弹性膜上的应力分布，为力敏电阻设计了最佳位置，并预计了输出信号的大
【机 构】
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河北工学院
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1994年1期
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