220GHz折叠波导行波管慢波结构的损耗研究

来源 :太赫兹科学与电子信息学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cngd0613
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在太赫兹频段,折叠波导慢波结构的损耗很大,因此需要在设计220GHz 折叠波导行波管慢波结构时进行深入研究.首先通过软件仿真的方法预测了慢波结构的^参数,然后利用紫外光刻、电镀和微铸模成型(UV -LIGA )工艺制作了慢波结构样品并进行测量.测量结果表明,该样品在220GHz 时衰减系数约为240dB / m ,与仿真结果符合较好.显微照片显示,该样品产生了形变,造成高频段2 种结果存在差异.
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