先进IC制造技术在超精密加工中的应用与发展

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qirongsong

【摘要】

：

介绍了集成电路(IC)在超精密加工技术中的发展.分析IC生产基本工艺流程与工艺技术,对影响IC发展的最新的3项关键生产技术进行研究;通过对国内外集成电路(IC)工艺装备的发展趋

【作者】

：

李辉张建民

【机构】

：

北京理工大学机械与车辆工程学院100081

【出处】

：

新技术新工艺

【发表日期】

：

2003年11期

【关键词】

：

集成电路超精密加工微电子加工光刻刻蚀掩膜制造技术创新 IC the ultra-precision machining technology m

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介绍了集成电路(IC)在超精密加工技术中的发展.分析IC生产基本工艺流程与工艺技术,对影响IC发展的最新的3项关键生产技术进行研究;通过对国内外集成电路(IC)工艺装备的发展趋势进行分析,提出加工特征尺寸0.1～0.07μm的掩膜制造、光刻、刻蚀等关键装备以及芯片材料技术是IC技术创新和IC制造工艺设备的发展趋势.

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