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半导体制造业作为信息产业的基础，半导体元件的需求增长迅速。半导体行业的环保节能研究已成为技术发展的主题。全氟化碳（PFCs）为目前认为具有高温室气体暖化潜势的气体，也是《京都议定书》控制的6种温室气体之一，对气候的影响能力不可忽视。全球各半导体行业、环保部门及相关研究机构仍在不断努力减排。本文从半导体行业中PFCs的排放现状、产污环节、排放特点、污控途径、激励措施等方面对其减排途径进行了研究和分析。