【摘 要】
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点火工程为我国十六个国家重大专项之一,而靶球微孔制造是其中最关键环节之一。其加工存在大量挑战(如孔径小而深径比大、孔型质量要求高、极小化重铸层/溅射物/腔内残留物)
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点火工程为我国十六个国家重大专项之一,而靶球微孔制造是其中最关键环节之一。其加工存在大量挑战(如孔径小而深径比大、孔型质量要求高、极小化重铸层/溅射物/腔内残留物)。飞秒激光以其超快、超强的独特性质,带来了全新的制造机理。
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