PLANNING AND CONTROL OF 3-D NANO-MANIPULATION

来源 :力学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luohuixian11

【摘要】

：

The use of atomic force microscope (AFM) as a nanomanipulator has been evolving for various kinds of nano-manipulation tasks. Due to the bow effect of the piezo

【作者】

：

李广勇席宁王越超于蒙蒙冯伟强

【机构】

：

DepartmentofElectricalandComputerEngineering,ShengyangInstituteofAutomation,DepartmentofElectricalEn

【出处】

：

力学学报：英文版

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

原子力显微镜纳米操作扫描隧道显微镜纳米颗粒 AFM nano-manipulation

【基金项目】

：

The project supported by the National Natural Science Foundation (IIS-9796300,IIS-9796287 and EIA-9911077)

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The use of atomic force microscope (AFM) as a nanomanipulator has been evolving for various kinds of nano-manipulation tasks. Due to the bow effect of the piezo scanner of the AFM, the AFM space is different from the Cartesian space. Traditional nanomanip

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