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研究了Zn、Cd、Sb等系列硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性,发现金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性，对元件的频率特性、湿滞特性、响应-恢复时间、阻抗、以及稳定性进行了测试，并对其敏感机理进行了探讨。
基于硫化物系的湿敏元件的研究
【摘 要】
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研究了Zn、Cd、Sb等系列硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性,发现金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性，对元件的频率特性、湿滞特性、响应-恢复时间、阻抗、以及稳定性进行了
【机 构】
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吉林大学电子工程系,吉林大学生物资源学院,吉林大学化学系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年1期
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