【摘 要】
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为解决气相沉积法制备材料过程中腐蚀性液体液位测量问题,基于液柱透镜成像原理,设计了高精度耐腐蚀的光电透射式液位测量仪。论文给出了液位测量仪的基本工作原理及结构设计
【机 构】
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重庆理工大学理学院,重庆理工大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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重庆市科委社会事业与民生保障专项一般项目(cstc2015shmszx00016);重庆理工大学实验技术开发基金项目(SK201810)
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为解决气相沉积法制备材料过程中腐蚀性液体液位测量问题,基于液柱透镜成像原理,设计了高精度耐腐蚀的光电透射式液位测量仪。论文给出了液位测量仪的基本工作原理及结构设计、重点分析了液位特征提取算法的设计和实现过程。设计的液位测量仪能够满足透明、半透明、不透明液体的液位测量。实验结果表明,液位特征提取算法能准确识别液滴、液滴串、气泡段等异常影响。液位测量仪能在溶液结晶等较复杂工况下正常工作,并且其测量分辨率达 3.5 μm,静态测量误差小于0.02 mm,单个测量头量程为 52.5 mm,有较好稳定性,非接触式测
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