二氧化硅-氧化铈复合氧化物相关硕士博士期刊学术论文

用合成的SiO2-CeO2复合氧化物对单晶硅片进行抛光,测定其抛光速率与制备条件及浆料配制条件之间的关系.结果表明:经800℃煅烧后制......