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位移测量仪表相关论文

接触触发式三维微纳米探头

为解决微电子机械系统（MEMS）器件三维尺寸高精度测量的难题,研制了一种适用于微纳米三坐标测量机的新型高精度三维接触触发式探头。......

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位移测量仪表微纳米三坐标测量机接触触发式探头弹性机构测微力计 displacement measuring instrumentsmicro/nano

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