体微加工技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

体微加工技术相关论文

MEMS-DMs理论设计及工艺研究

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学位

微机电系统自适应光学可变形反射镜体微加工技术表面微加工技术静电驱动

一种新型的硅基底MEMS微带天线

针对硅基底微带天线的缺陷,结合MEMS技术的体微加工技术和表面微加工技术对基底材料进行处理,以达到改善天线性能的目标。设计了一......

期刊

MEMS技术体微加工技术表面微加工技术微带天线光子晶体带宽回波损耗

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