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全金属光栅器件相关论文

太赫兹全金属光栅工艺中光刻胶内应力

建立了光刻工艺中内应力的三维有限元分析模型,采用热-结构耦合分析,研究了胶膜厚度、后烘温度以及降温速率对SU-8胶层中的内应力......

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全金属光栅器件光刻有限元内应力粘弹性 full-metal grating photolithography finite element anal

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