分立式微变形镜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

分立式微变形镜相关论文

基于MEMS技术的微自适应光学系统的建模及关键技术研究

随着自适应光学技术的发展及应用的推广,传统的大型自适应光学系统已不能较好地满足航空、航天、机载激光武器、卫星遥感等领域的......

学位

微自适应光学系统分立式微变形镜大气湍流波前传感波前重构波前校正 “拉入”效应微机电系统

MEMS微变形镜测试及工艺防粘附技术研究

采用表面加工工艺制作的MEMS分立式微变形镜具有集成度高、可实现批量生产等优点，成为MEMS微变形镜的研究热点。然而基于表面加工工......

学位

表面加工分立式微变形镜粘附自组装分子膜

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