半导体外延相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

半导体外延相关论文

半导体外延掺杂的深度分布——“修正的”余误差分布

在制造半导体器件的外延工艺中,外延生长时通常要掺入杂质.如果杂质的扩散系数很小,杂质在外延层中的深度分布是均匀的;如果杂质的......

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材料科学半导体外延杂质扩散杂质浓度深度分布 materials scienee semiconductor epitaxy impurity diff

一个有害气体监测系统

本文介绍了半导体外延行业所用的一个有害气体监测系统，该系统成本适中，可靠性高，可以广泛应用于有害气体涉足的行业。本人因在半导体......

期刊

半导体外延有害气体监测

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