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单一敏感质量相关论文

基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计

设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计.该器件采用全差分电容的检测方法 ,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问......

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单一敏感质量三轴加速度计微机电系统全差分电容检测 single sensitive mass tri-axis accelerometer micro

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