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适合于声表面波器件的双晶向AlN薄膜的制备研究
随着电子通讯设备信息处理量的日益增大,通讯载波频率必须向GHz或更高水平发展,因而多层膜结构声表面波(SAW)器件正因其高频特性而备受......
学位
双晶向
AlN薄膜
多层膜结构
声表面波器件
射频磁控溅射
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