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静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动......
可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特......
描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果.光栅样机采用硅微......
本文提出了一种基于微光机电系统(MOEMS)的新型可编程相位光栅技术,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究,同时给出部分数值仿真......