基片弯曲法相关论文
基于基片弯曲法和牛顿环的基本原理,使用He-Ne激光器、扩束镜、凸透镜和带分光镜的移测显微镜·搭建了薄膜应力测量装置,采用......
有关薄膜应力的一般测量方法存在精度不高和不能实时测量的缺点.多层薄膜材料是在非平衡条件下制备的性能优异并包含高密度界面的......
