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大气等离子体抛光相关论文
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大气等离子体抛光(APPP)是一种非接触式的化学刻蚀加工方法,具有效率高、成本低、精度高等优点,可以作为碳化硅(SiC)加工的一种有......
期刊
表面光学
大气等离子体抛光
碳化硅
去除函数
超精密加工
等离子体无损快速抛光工艺研究
大气等离子体抛光技术是新兴的、高效的、可取代传统加工方法的一种新的表面加工办法,不会造成被加工工件表面或亚表面损伤,且其成......
学位
大气等离子体抛光
电弧等离子体
表面粗糙度
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