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高温退火对InGaAsP/InP双异质结光弹波导结构的影响
光弹效应光电子器件是一种适合光电子集成的新颖平面型器件结构。InGaAsP/InP双异质结外延片在直流负偏压120V作用下,利用射频溅射和光刻肃离技术在......
期刊
平面型波导器件
INGAASP/INP
高温退火
WNi/Semiconductor contact Photoelastic effect Planar wa
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