微位移振动相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微位移振动相关论文

基于光学干涉相位检测的MEMS陀螺信号细分技术研究

MEMS陀螺大多数使用电容检测法，其精度不高。提出利用双光干涉方法探测MEMS陀螺中质量块的振动振幅．用相位细分的方法对干涉信号进行......

期刊

MEMS陀螺双光干涉相位细分微位移振动 MEMS Gyroscope Dual optical interference Phase subdivis

看过本文同时还关注