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微型压电悬臂梁相关论文
低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计
以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程.通过建立更接近真实结......
期刊
超高密度信息存储
微型压电悬臂梁
结构设计
刚度
谐振频率
ultra-high-density data storage
micro piezoelectr
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