微型电磁驱动器相关论文
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵。微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体......
提出了一种非闭合磁路型高能量密度微电磁驱动器的制作方法,即利用MEMS工艺在单位面积硅基体上制作多匝、高深宽比的平面线圈和高......
设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技......
提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械（MEMS）工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图形，接着沉积种子层铜（cu），然......
