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基于MEMS技术研制的微电容超声传感器,在超声波作用下其有效电容的变化量仅为飞法级,且变化速度非常快,检测很困难。本文提出的半......
现代电容式传感器的应用非常广泛,在平常生活中经常能发现它的存在,极大地方便了我们的生活。同时对于不同应用环境,人们提出很多测量......