微梳齿结构相关论文
为了解微机电系统中,静电结构耦合作用对微梳齿结构性能发挥的复杂作用,对三维微梳齿驱动器的静电结构耦合特性进行了研究,用有限......
建立了考虑耦合作用的微梳齿驱动器仿真模型，研究了结构变化对梳齿的驱动性能的影响，并分析了结构基板及斜齿误差和偏移误差对结构驱......
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