微波电子回旋共振相关论文
分别利用中频磁控溅射(MFS)方法和微波电子回旋共振(ECR-MW)等离子体方法制备了Yb:Er共掺AlO薄膜,研究了氧气与氩气比例、样品荧光......
近年来,微波电子回旋共振(ECR)等离子体源越来越受到人们的关注,因为它能在低气压下产生高密度、高电离度、大体积均匀的等离子体......
微波电子回旋共振（electroncyclotronresonance-ECR）等离子体源技术是一种先进的低温等离子体发生技术,具有体积小、无热阴极、起动......
微波电子回旋共振(ECR)等离子体源产生的等离子体有许多优点：首先，它属于无极放电，没有污染，能获得纯净的等离子体；其次，微波能量转化效......
环境污染和能源短缺一直影响着各国的持续发展，在众多可再生清洁能源中，光伏组件最有可能取代传统能源而成为新的能源。a-Si：H薄膜电......
非晶硅(a-Si)具有特殊的光学、电学性质,并且呈现出了巨大的应用前景。但是由于它含有大量的缺陷态(主要缺陷态是悬挂键),使其在实......
通过红外透射光谱研究了在光诱导退火中退火条件对氢化非晶硅薄膜的结构和光电特性的影响,实验所用样品采用热丝辅助微波电子回旋......
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置......
为了对原子层沉积金属薄膜进行研究,以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积装置中进行了铝......
