微流量传感器相关论文
随着近年来科技的日益发展与进步,对流量检测的需要越来越迫切,微流量传感器作为使用MEMS技术的新兴传感器领域,相较于传统的流量......
流量测量是人们了解和控制流体的一种重要手段,在工业生产和过程控制中占有重要地位。随着微电子工艺和MEMS技术的日趋成熟,医学、......
生物试剂的高精度、自动化分配是生物、化学、医药等领域不可或缺的实验操作手段。它在蛋白质分离、免疫分析、DNA分析和测序、细......
设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片．采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时......
针对醋酸造气工艺中水洗塔合成气测点的样气组成，就该测点的样气预处理系统设计作出评述，并结合西门子Ultramat6红外分析仪的特点介......
介绍西门子Ultramat 5F非分光红外分析仪的原理和结构，及其在齐鲁石化烯烃厂乙烯装置乙烯控制中的成功应用。......
为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通......
文章简述了OXYMAT6E型氧分析仪的工作原理和结构特点,以及它在PTA卸料和输送中的应用情况,并对目前氧分析系统提出改造方案.......
介绍了一种新型的微流量传感器信号处理电路....
介绍一种采用层流式微流量传感器，使用电子线路对微流量传感器的信号进行放大、转换，用单片机实现非线性补偿与标度转换，进而研制成数......
对微流量控制系统的组成、机理、国内外在该领域的研究状况以及系统的应用前景进行了简要介绍.而实现微流体的闭环控制是实现高精......
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模......
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形P......
为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统......
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及......
介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上......
基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器.由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时......
从取样系统的设计、样气的预处理方法、氧分析仪的结构原理及现场使用等几个方面介绍了OXYMXT6型氧分析仪在PTA装置上的应用。......
采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。......
根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该......
MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEM......
随着微机电系统MEMS的快速发展,基于硅结构的微流体控制系统——微流量传感器由于其体积小、功耗低、控制精度高、响应速度快等特......
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平......
归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋......
在丙烯酸化工装置采用了西门子OXYMAT 6在线氧含量分析仪用于装置反应器入口氧含量分析。本文详细介绍了西门子磁微压式顺磁在线氧......
