微电子机械器件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微电子机械器件相关论文

一种微小摩擦的测试方法

论述了一种全新的微小摩擦测试方法——间接测量法,并设计了测试装置.该方法将微型电动机同时作为驱动元件和测试元件,通过分析微......

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微电子机械器件摩擦测量方法

MEMS技术在流动分离主动控制中的应用

文章面向飞行器翼型绕流的控制,设计开发了气泡型和合成射流等2类采用MEMS技术制造的微型致动器,并对其性能进行了测试。结合三角......

期刊

致动器微电子机械器件流动控制微机电系统流动分离主动控制

半导体行业的排头兵

一、概况信息产业部电子第十三研究所,1956年筹建于北京,1963年迁至石家庄。经过45年的发展,已经建成一个以半导体技术研究为主,......

期刊

半导体行业电力电子器件排头兵科研生产任务微电子机械器件毫米波国防科技重点实验室信息产业部重点工程项目

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