微电机系统相关论文
提出了一种新的应用于低频声传感领域的强度调制型光纤传感器理论模型。该模型使用了单模光纤来传输和接收光信号，使用了C-lens光学......
在现代战争中,制导飞行器武器能够在远距离高精度作战,内置的制导控制系统使其能够精确地打击千里之外的目标。本课题主要是研究和......
微电机系统(MEMS)出现于20世纪80年代中后期，是指可以批量制造的，集微结构、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统，其......
压电超声电机(USM, ultrasonic motor)是近二十多年才发展起来的新型微电机系统,具有低转速、高转矩、重量轻、结构简单等诸多优点......
综述了自组装单分子膜的研究进展，得出论文的选题思想。分别利用自组装技术及原子转移自由基聚合方法，设计并构筑了两种自组装双层膜......
近十年来,通过一旦发生碰撞就自动触发安全气囊的方法,MEMS(微电机系统)加速计使汽车变得更加安全了.......
由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点，MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视，基于MEMS的显示技术将推动......
介绍了一种兼具光开关功能、低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器件。器件采用了静电驱动微反射镜和光纤三芯准......
先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波......
提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器，其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏......
微机电系统(MEMS)表面加工工艺中的材料层厚度是决定MEMS器件性能的重要参数之一,如多晶硅结构层厚度和牺牲层厚度,直接决定了MEMS......
概述了应用于微量液体操作的微流体器件、微流体器件的主要材料和制造.并分别说明各微流体器件(集流腔、微泵、微吸液器等)的主要......
介绍了PCR微芯片的最新研究进展,给出了不同结构的PCR芯片设计原理以及特点,介绍由PCR芯片为主要单元的集成微全分析系统的相关研......
在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题.这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配......
本文介绍了采用两种光纤传感技术的声音传感器--光纤麦克风的传声技术.强度型光纤麦克风和光纤光栅型麦克风,分别属于传光型和功能......
本文简要介绍了目前国际上最新型微电机系统（MEMS：Micro—Electro—MechanicalSystems）的原理以及在此基础上研制出的几种微小型继电......
基于体硅加工工艺和纳米材料技术,研制微电机系统（MEMS）尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构,提高微电极电化学性能,制备具有三维......
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形射频微电感,研究了双层结构微电感中微带线宽度对其性能的影响.研究表明,双层悬空结构......
研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响，建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型，分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相......
针对微雾化器存在的多能域能量耦合问题，建立了压电微雾化器的固-液-声耦合模型，对其耦合特性进行了数值计算，并着重分析了压电振子结......
Polysilicon Microelectromechanical systems (MEMS) are the subject of intensive researches. Surface chemistry and topogra......
随着光通信技术的发展,尤其是光密集波分复用(Dense WaveLength Division Multiplexing, DWDM)技术的广泛应用,光交叉连接技术(Opt......
微机电系统(Micro Electromechanical System, MEMS)技术极大的促进了引信系统微型化的发展。本文以用于控制起爆电路的万向开关为......
MEMS(微电机系统)生产和封装,以及等离子工艺技术制造商Surface Technology Systems plc(STS)宣布,该公司推出新一代CPX丛集作业平......
介绍一种新型的数码相片冲印系统,它把DLP成像技术与传统银盐冲洗工艺有效地结合起来,使银盐冲洗方法在数字图像的冲印上有了新的......
随着大规模集成电路、无线传感网络的发展和对微机电技术研究的逐渐深入,基于微机电系统(MEMS)技术的微型电源具有广阔的应用前景......
MEMS做为本世纪前沿技术,有着非常广阔的前景,越来越受到业界专注。本文介绍了华润上华设计中心研发的3轴加速度计的原理及ASIC电......
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动，借鉴人体心脏瓣膜的结构，设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式......
为量化分析和评定肢体伤残患者康复训练后的康复程度,研究开发出一种基于三维MEMS加速度传感器的步态康复训练分析系统。通过单片......
