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在IC生产线上,对离子注入剂量的监控非常重要.目前,离子注入剂量的测试方法有很多种,它们在测试原理、仪器价格、测试灵敏度、样品......
本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试硅外延片、器件芯片和集成电路特定区域的纵向杂质分布，从而用以器件开发、工艺调控和失效分析......
本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试材料的电阻率分布和工艺芯片的杂质浓度分布，从而用以材料和器件工艺参数的测试分析。......
半导体放电管是新一代抗电浪涌保护器件。本文概略地叙述了放电管的结构、特性和主要的电参数。分析了这些电参数与硅片的物理参数......
