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微纳米谐振器能量耗散机理的研究
微纳米谐振器由于其“高频、高灵敏度、高品质因子”等优点,被广泛应用于高精度测量、传感以及信号处理。能量耗散一直是制约微纳......
学位
微纳米谐振器
品质因子
热弹性阻尼
支撑损失
卡西米尔效应
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