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方形基片相关论文

喷雾式涂胶的新应用

介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式......

期刊

光致抗蚀剂喷雾涂胶腔覆盖方形基片空中桥梁

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