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软x射线激光多层膜反射镜及分光元件的研制
论文第一章从x射线光源、x射线光学元件和x射线多层膜的发展和研究状况给出了简要的综述。 第二章讨论了理论设计和性能分析问......
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X射线多层膜
x射线多层膜分光元件
多层膜反射率
无衬底
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