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有机蒸汽敏感特性相关论文

ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析

采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备，探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻，退火对薄膜结构的影响．在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行......

期刊

反应溅射 ZNO薄膜退火温度有机蒸汽敏感特性选择性 reactive sputtering ZnO thin film annealing tempe

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