栅距测量相关论文
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出......
提出了一种满足非线性低频全息光栅设计、制作、测量等需求的新思路,设计了光路调制、元件制作及其条纹观察、栅距测量的新方法。......
