毛细管放电相关论文
利用北京计算数学与物理研究所编制的一维磁流体力学程序对毛细管放电条件下类氖氩等离子体进行了计算,给出了等离子体半径、电子......
极紫外光刻(EUVL)技术是目前193 nm浸没式光刻技术的延伸,有望突破30 nm或更小技术节点而成为下一代光刻(NGL)技术的主流。毛细管......
毛细管放电泵浦46.9 nm软X射线激光是一种短波长激光,具有诸多普通波长激光所不具备的特性,比如高亮度、高相干性、单脉冲能量高和......
X射线激光是超短波长的激光。它具有脉冲瞬时功率大、单光子能量高等特点,在微观快过程研究领域具有不可替代的作用。在众多X射线......
电热等离子驱动的毛细管放电是电热发射技术的关键物理过程,一直是相关技术领域的研究热点,具有极其重要的学术及工程价值。毛细管......
自1984年首次实现软X射线激光以来，软X射线激光作为一种相干光源，因其单色性好、瞬间亮度高、脉冲持续时间短和波长短等特点受到了越......
该论文较全面地对以补偿脉冲发电机为主体电源的电热化学炮系统进行了研究，为未来补偿脉冲发电机为电热化学炮提供小型化脉冲电源的......
通过对国内外毛细管放电类氖氩C线69.8nm激光的研究进展的总结和分析，确定了本论文的研究内容主要围绕实现69.8nm激光的增益饱和展......
X射线激光是一种波长很短的激光。自1994年美国Rocca小组首次采用毛细管放电装置获得46.9nm软X射线激光以来，毛细管放电泵浦产生X射......
极紫外(Extreme Ultraviolet, EUV)光刻技术被认为是下一代最有前途的光刻技术之一，而其中的光源被认为是影响EUV光刻技术大规模工......
毛细管放电软X射线激光是一种小型化方案。由于其在各领域的应用前景，国际上各课题组对软X射线激光展开了研究。本论文研究了预脉冲......
利用等离子体波导实现光场感应电离(OFI)X射线激光放大,一方面可以降低产生X射线激光的抽运激光阈值,从而提高由于自散焦而降低的......
自软X光激光发现以来,实现低激发阈、台式软X光激光一直是一个十分重要的研究方向。利用毛细管放电激励产生软X光激光,是实现台式......
对自行研制的台式毛细管放电X光激光装置进行了系统调试,在充氩气毛细管负载下,输出电流38kA,电流脉冲前沿40ns,并对有关问题进行......
近几年来实用型、台式软X射线激光器发展非常迅速,特别是毛细管放电抽运的X射线激光源,已经获得469nm近1mJ激光输出,重复率4Hz.该......
介绍了一台毛细管快放电软X射线激光实验装置,包括Marx发生器,Blumlein传输线和毛细管放电室等.在充入相同气压的气体(70～90 Pa)和......
利用多组态求解相对论性的Hartree-Fock-Roothan方程(HFR)方法计算了类氖离子(Z=13～27)2s2 2p6-2s2 2p53s能级之间跃迁的原子参量,......
流过毛细管的电流,将直接影响箍缩过程中等离子体的状态,进而影响软X射线激光的产生。由于主开关的导通电感将影响电流波形,因此提......
研究了预、主脉冲延时这一敏感参量在低气压下对毛细管放电类氖氩46.9 nm软X光激光的影响。实验表明,采用长度20 cm（钼电极长4 cm）,......
两间隙毛细管等离子体发生器利用触发间隙放电产生等离子体射流连通主放电间隙,引发主放电形成高温等离子体射流。建立一个一维流......
毛细管放电软X光激光方案是实现小型、台式、高效、经济适用的X光激光器的新途径。为获得稳定而较大的激光能量，对激光输出所依赖的......
大气压液体电极放电是近年来兴起的一种产生大气压等离子体的新方法，此方法因为结构简单、成本低廉、操作方便等优点而具有广泛的应......
根据电子碰撞机制类氖氩毛细管放电机理,在一台最大输出电压300 kV的Marx发生器基础上设计了一套完整的毛细管放电装置.对该装置进......
期刊
脉冲功率技术在激光领域中得到广泛的应用 ,文中介绍毛细管放电泵浦软 X射线激光的机理及据此要求设计的高压大电流快脉冲放电泵浦......
以类氖 氩离子跃迁线为例 ,应用一维的Lagrangian程序———XDCH研究了毛细管放电碰撞机制激励软X光激光的物理机制 ;对等离子体......
从国外实验放电结果出发,推断了充气毛细管的阻抗特性.进行了充氩气毛细管负载下的放电实验,获得放电电流的峰值为34.3 kA,上升前......
估算了毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的放电参数,讨论了放电过程中毛细管阻抗特性的变化.并从等离子体Z箍缩效应的原理出发,......
利用x射线二极管(XRD),实验上测量了毛细管放电激励下类氖氩46.9nm软x射线激光的尖峰信号.改变毛细管的充气气压和主脉冲放电电流,......
实验探索了较低氩气气压下激光产生的条件.利用X射线二极管(XRD)测量了毛细管放电激励类氖氩46.9 nm软X光激光的输出.在其他实验参......
在一台毛细管快放电软x射线激光实验装置上,在相同主脉冲条件下(电流峰值18-30kA,半周期80ns),通过观测放电产生的软x射线辐射,研......
在低气压(25 Pa)快电流前沿(27 ns)下,利用镀金X射线二极管(XRD)测量获得了毛细管放电软X射线激光尖峰输出。研究该软X射线激光输......
首次给出了实验测得的充氩气毛细管的阻抗特性曲线,这对于寻找毛细管放电泵浦X光激光的最佳放电条件具有十分重要的作用.......
极紫外光刻（EUVL）技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一。极紫外（EUV）光源是EUVL的源头,寻找......
毛细管放电46.9 nm软X光激光以高温高密度氩等离子体作为激光增益介质,在46.9 nm激光谱线附近会出现大量的背景光谱,这对于进一步......
毛细管放电类氖氩等离子体产生的46.9 nm激光是亮度很高的相干光源,有着重要应用前景。影响激光输出的放电参量和制约因素较多,其......
本文详细地分析了目前文献报道的:采用发射光谱Boltzmann法,测量毛细管放电产生的电热高密度等离子体温度时,产生误差的原因.当正......
本文对毛细管放电产生类氖氩46．9nm激光进行了实验研究。实验中发现毛细管放电装置中布鲁姆林（Blumlein）传输线所产生的固有预脉冲对......
利用与全时间相关速率方程组相耦合的一维辐射磁流体力学程序,对类氖氩毛细管放电产生X光激光全过程进行了数值模拟,并根据模拟结......
为研究毛细管放电X光激光中预脉冲放电对增益的影响,用简化的XDCH程序,模拟计算了聚乙烯毛细管充Ar气、2μs脉宽的预脉冲放电过程,......
介绍了主脉冲和预脉冲的产生电路、预-主脉冲延时触发的方案以及对预-主脉冲的联调结果.毛细管放电X光激光装置经改造后,抑制了原......
消融放电毛细管等离子体发生器产生的等离子体射流具有密度高和温度相对低的特性，在许多领域都具有潜在的应用前景。利用1维流体模......
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结......
极紫外光的波长越短,与软X射线的谱区重叠越多。在波长重叠的区域内,由于光束相干性的缘故,同样波长的辐射有时称为极紫外光,有时......
对于电子密度和增益为抛物线分布的等离子体，在几何光学的近似下，通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体在柱中的传播......
近年来，有关利用毛细管放电激励产生X光激光的研究十分活跃，国 际上已经取得了许多显著的成果，并且正向实现实用化Table-top Laser发......
近年来,毛细管放电X射线激光研究工作十分活跃,为短波长激光的研究带来一种全新的概念.较为详尽地总结了这一领域所取得的主要进展......
