浮雕结构相关硕士博士期刊学术论文

采用该结构代替红外减反膜能够提高其抗蚀、抗冲击等性能。通过等效媒质理论设计亚波长浮雕单元结构，采用光刻及离子蚀刻方法完成蓝......