涡轮分子泵相关论文
为了实现准确可靠的涡轮分子泵故障诊断,提出了一种基于多样性特征和多源信息的分子泵故障诊断方法。在分子泵实验台上采集到分子......
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域，是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的......
涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法，使用COMSOL对二维模型进行计算，更新了单级叶列抽气性能参数......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
<正> 显像管生产中,蒸铝以及管子封离前排空这两道工序都需要使用真空泵。当采用涡轮分子泵代替传统工艺中使用的油扩散泵后,可改......
一个为强流短脉冲电子枪烘烤排气和阴极分解激活工艺专用的超高真空排气台已完成调试工作。该排气台由电子枪排气用的超高真空机......
涡轮分子泵是获取高真空的一种重要设备,被广泛应用于高真空场合,涡轮转子是涡轮分子泵中最核心的零件。整体式涡轮转子为多层叶片......
涡轮分子泵是一种动量传输式真空泵，它靠高速旋转的涡轮转子和定子相间配置来工作，其定子和转子叶齿倾角方向相反，涡轮分子泵的转速，每......
对几种参数化设计方法进行了比较,根据涡轮分子泵的结构特点,开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件。该软件具有智能设计、自......
针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文......
在Pro/E环境中针对涡轮分子泵的涡轮叶片(动片和静片)编写了专用的3D模型设计程序,使涡轮分子泵繁琐的叶片建模变得快速、简洁而准......
从对分子泵的权威理论——贝克尔理论提出质疑并加以证明,到"现代分子泵统计理论"、"涡轮分子泵微分网络理论"和"牵引分子泵自泄漏......
由于涡轮分子泵在高转速下工作作,其转子的不平衡量引起的振动将会影响分子泵的性能和工作环境,严重时可引起破坏,因此,对分子泵的......
电磁轴承的独特特性使其在工业上的应用快速增多。当前，对电磁轴承支承转子在效能和可预测性方面的要求达到了与传统油膜轴承和滚动......
在静叶片原成型工艺的基础上,通过设计静叶片冲裁折弯成型模具,一次完成静叶片的折弯成型,大大提高了加工效率。最后,通过试验验证......
分子泵是一种用于高真空环境的精密机械,是高端分析仪器如质谱仪,扫描电子显微镜等的重要组成部分。为了提高真空度,抽速等性能指......
Edwards Limited是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商,该公司推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子......
<正>电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)是最有冲击力的分析技术,广泛应用于地质、环境、冶金、生物、医学、工业等多个领域[1]。由于......
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论.......
针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级......
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......
针对动叶轮叶片五轴侧铣过程中的根部过切问题,提出了基于设计扫掠驱动面的数控编程方法,并在此基础上形成了叶片铣削工艺方案,经......
在入口管路束流效应和涡轮端盖反射作用的双重因素影响下,以纯分子流态经泵前入口管道流向涡轮分子泵环形一级动叶列抽气面处的气......
采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
基于直接模拟蒙特卡洛(DSMC)方法,可以计算获得涡轮分子泵叶列在不同稀薄气体流态下的抽气性能.通过改变涡轮叶列旋转速度、气体入......
涡轮分子泵是一种利用高速旋转的叶片把动量传输给被抽气体分子,使气体分子能够连续不断地从入口运动到出口并排出的动量传输式真......
本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子......
本文简述ＢＡＬＺＥＲＳ公司生产的涡轮分子泵电源的工作原理和工作过程，绘出了重要工作点的波形并给出了工作参数，根据作者的实践对电源的维修和改......
针对某小型涡轮分子泵的涡轮级,采用数值仿真方法分析了静叶片的结构参数与抽速和压缩比的关系,计算了叶片成型过程中应力分布,研......
本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用于式机械泵作其前级泵,构......
本文从结构设计角度分析了叶片轴向高度h、节距a、叶片角α、叶片数z、叶片厚度δ等结构参数对压缩比的影响,并基于分析结论提出了......
研究了涡轮分子泵电源制动单元的设计、制动功率和制动电阻的计算方法。为涡轮分子泵选用理想制动电阻提供依据。根据此设计和计算......
综述了涡轮分子增压泵的研究现状与进展。涡轮分子增压泵是一种动量传输型真空泵 ,它的出口压力范围可达 10 0 0 Pa,通过计算流体......
分子泵自 1912年诞生以来 ,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢 ,在 1970年以前 ,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表......
七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展极为重视。一些学者和专家为 涡轮分子泵的研究、设计制造做出许多......
七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展高度重视。许多学者和专家对涡轮分子泵都做了大量的工作。从理论研......
高速运转的涡轮分子泵的临界转速计算至关重要。本文论述了用传递矩阵计算涡轮分子泵临界转速的方法，该方法可以解决涡轮分子泵系统......
本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声......
近些年来，国内外生产的立式涡轮分子泵已成系列，而且主轴转速高达每分钟几万转。为了提高这种泵的使用寿命。除选择高精度轴承和作好......
