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滞留H原子相关论文
入射能量对H2^+与SiC表面相互作用影响的分子动力学模拟
用分子动力学方法研究了入射能量对H2+与SiC样品表面相互作用的影响。模拟结果表明,在H2+轰击SiC样品表面的初始阶段,样品中H原子的......
期刊
分子动力学
入射能量
滞留H原子
刻蚀
Molecular dynamics
Incident energy
Retention H atoms.
Rem
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