激光平面干涉仪相关论文
前言 由于激光技术的广泛应用,在现代光谱学和干涉计量学中,越来越需要高精度的光学平面。如:法布里—珀罗标准具、激光平面干涉......
介绍了一种应用激光平面干涉仪从入射面检测锥体棱镜直角误差的方法。棱镜被测角通过一个夹具被预置一个初始角,使射入棱镜内的测......
叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理。依据ISO发布的测量不确定度表示指南，对Fizeau型高精度移相激光平面干涉测量系统的误差......
