激光微细加工相关论文
可降解甲基丙烯酰胺改性明胶（Gel-MA）具有良好的生物兼容性和可降解性，被广泛应用于生物支架、药物输送载体和软骨替代物等方面，在生物......
激光微细加工技术可以对蓝宝石,碳化硅,陶瓷和玻璃等光学元件和半导体衬底的脆性材料,碳钢以及容易产生塑性流动的低硬度复合材料......
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元.首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制......
本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.......
在未来社会中,微型机械将发挥越来越重要的作用,微构件的微细加工已成为热点研究的课题。由于激光加工技术有着能量高度集中,可控......
AlSiC复合材料具有高的比强度、比模量、耐高温、耐磨损、可调的导热系数等优点,在航空航天、汽车、电子、军工等领域有重要应用,......
随着激光微细加工技术在微构件制造方面应用越来越广泛,目前研究者研究主要集中在改进加工工艺参数,实现具体工艺要求的孔,表面的......
激光微细加工技术是利用激光束作用于工件表面的激光辐射效应,改变工件形状,或材料性能的一种特种加工技术,属于非接触加工,具有表......
在半导体的激光微细加工技术里 ,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数 ,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的......
在激光诱导扩散等激光微细加工技术中 ,需要用聚焦激光束照射基片表面 ,以形成局部高温区。为使局部高温区的温度分布满足实验要求......
用连续波激光诱导扩散制作单片集成光接收机中的探测器时,激光照射形成的高温区面积很小.当入射激光焦斑光强为高斯分布甚至平顶帽......
在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动......
在电子工业和半导体工业中,为了快速生产出更小的元件,制造商们正极力促进将紫外波长激光器引入到微细加工中.传统的方法是用紫外......
蜂窝电话、计算机、扩展器、小卫星、灵敏像元卡、ID标记,这些无一不包含有微型组件.预计在今后几年中,消费者将花费数10亿美元购......
近年来,显示器得到了快速发展,并且没有放慢发展速度的迹象.该领域中的一个最重要的进展是利用激光完成各种微细加工任务.本文描述......
在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动......
采用聚焦连续波CO2激光束对n型InP基片进行局域加热，并利用专用的温度测量系统对InP基片曝光区的温度分布及温度随时间的变化进行了......
激光微细加工是微小型构件的重要加工方法。目前,研究工作主要集中在先进超快脉冲激光器以及高端激光制造装备方面,对加工表面质量......
随着社会的发展微型机械将发挥越来越重要的作用,而微构件的微细加工则已经成为了热点研究课题。由于激光加工技术有着能量高度集......
本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。...
采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p-区......
在半导体的激光微细加工技术里,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量.文献[6]报道的温度测量系统基本满足这一要求,但在实......
单片光电集成器件(OEICs)是利用光电子技术和微电子技术将光电子器件和微电子器件集成到同一衬底而形成的新型器件,可完成光发射、......
为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统.以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波......
准分子激光微细加工已成为一种成熟的加工技术,在工业中有着广泛的应用,如喷墨打印机喷嘴的钻孔、传感器的生产和显示板的加工等.......
文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激......
传统分离脆性材料的技术由于易产生残余应力、显微裂纹与边部碎屑等缺陷,越来越不能满足半导体工业高精度与高清洁度的要求。激光......
进行了飞秒激光烧蚀不锈钢（SUS420）的工艺实验研究.采用波长为780nim,脉宽为164fs,频率为1kHz的飞秒激光照射不锈钢.对比分析了长短......
为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成......
近年来,随着激光微细加工技术的完善以及加工工艺的成熟,激光微细加工的种类日益丰富,已经广泛应用到各种制造工业领域当中。在这......
本文应用准分子激光器进行微结构加工，用拉曼光谱、红外谱、AFM和三维形貌分析仪等测试手段分析准分子激光刻蚀聚合物微通道的加工......
激光诱导液相腐蚀是利用激光在单色性、方向性、高亮度上的独特优势,以激光对材料的光子效应和热效应为基础,辅助材料的液相腐蚀进......
随着高新技术的快速发展，广泛应用于航空航天、医疗电子、汽车船舶等领域的微细结构的尺寸不断缩小，而且性能优异的新兴材料一般都属......
在激光微细加工中,激光曝光区的温度对激光诱导扩散生成p-n 结的结深、杂质浓度的分布和激光辅助合金生成欧姆接触的接触电阻等具......
本文提出了一种新的半导体加工技术——半导体激光诱导液膜浸润腐蚀法,它与普通化学腐蚀相比,可以有效地消除晶体取向影响,制作出......
单片光电集成器件(OEICS)是将光器件和电器件两种性能、结构完全不同的器件集成在同一衬底上,需要解决光电兼容的问题,因此至今尚......
单片光电集成器件的制作涉及到光电子与微电子两大技术领域,利用光电集成技术制作出的光电器件具有功能强、可靠性好、体积小、成......
用激光诱导扩散和激光辅助合金的方法，制成InGaAs/InP探测器，响应度达到0.21A/W。据我们所知，国内还未见关于用激光微细加工技术制作1......
