热丝化学气相沉淀法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

热丝化学气相沉淀法相关论文

氮流量对热丝制备富硅-氮化硅薄膜的结构及性质影响

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热丝化学气相沉淀法富硅-氮化硅微结构发光特性 Hot filament chemical vapor deposition method Silicon

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