电子回旋共振放电相关论文
采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法对电子回旋共振(ECR)放电中的电离过程进行了模拟,其中带电粒子与微波的相互作用由P......
采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,应用电磁模型,编写了准三维的电子回旋共振(ECR)放电电离过程的模拟程序,得到了ECR......
研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积系统中栅网的增加和栅网上施加+60V和-60V偏压对CHF3放电等离子体特性的影响.发现在......
建立了电子回旋共振（ECR）放电的粒子模型，编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序。通过对氩气ECR放电离过程的理论分析与数值......
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,简写为ECR)等离子体源由于具有高密度、高电离度、低运行气压、大体积、均匀、无电极......
学位
