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利用电子束光刻技术制作了基于钛酸钠纳米线的纳米器件.分别在大气和真空两种环境下测量了该器件的电学特性,发现器件所处的气体环......
随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础.纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景.文章介......
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