电容式微机械加速度计相关论文
现代惯性加速度计的发展方向是微小型化和集成化，而MEMS技术提供了这样一种可能。战略惯导加速度计实用化的首要条件是大量程（70g以......
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电容式微机械加速度计是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器。利用开......
推导了电容式微机械加速度计的悬臂梁在加速度作用下可能出现的两种挠度情况,分析了在制造过程中残余应力对于加速度计造成的影响,......
微机械加速度计具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高及易于批量生产等一系列的优点,目前已被广泛应用于航空航天、定位......
针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方......
