钙钛矿锰氧化物La1-xCaxMnO3以其优异的物理性能和丰富的电磁相图受到了高度关注。高的金属-绝缘体转变温度（Tp）和的电阻温度系数（TCR......

掺杂的钙钛矿锰氧化物有着丰富的电子相图,各种不同的输运性质,以及多种物理性能,因此得到了广泛的研究。其中,关于金属-绝缘体转......

针对液晶聚合物(LCP)柔性基板高频电子封装应用需求,采用一种薄膜溅射工艺直接在LCP柔性基板上制作TaN薄膜电阻,研究不同等离子体......

分别采用固相法和共沉淀法工艺制备了不同Ag掺杂量的La2/3Sr1/3MnO3∶Agx(LSMO∶Agx,x为摩尔百分比,x=0.00、0.10、0.20、0.30、0.......

氧化硅（SiOx）原位钝化层对氧化钒（VOx）薄膜电学特性的影响分析旨在改善像元微桥结构的光学吸收特性，提高热敏VOx薄膜层的方阻和电阻温度......

氧化钒（VOx）薄膜是一种广泛应用于红外热成像探测的薄膜材料,研究VOx薄膜的制备工艺、获取高电阻温度系数（TCR）的VOx薄膜具有重要意义......

基于VOx的非致冷红外传感器是当前MEMS的研究热点。VOx的制作是关键工艺,而VOx多价态共存,优化工艺以提高VO2在VOx中的比例、制备......

用离子束溅射和后退火工艺制备了一种适用于微测辐射热探测器热敏材料的新型纳米结构二氧化钒（VO2）薄膜材料,薄膜具有平均粒度8 nm,......

为了提高用作红外探测器敏感材料的镍膜的性能，采用直流磁控溅射的方法在载玻片上制备测辐射热计的热敏感薄膜一镍膜，靶材选用高纯镍......

铂(Pt)是温度传感器常见的敏感材料。为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽(Ta)为......